Halbleitertechnologie von A bis Z

Alles über Halbleiter und die Waferfertigung

Gasentladung

Legt man an eine Kammer eine hohe Spannung an, so beginnt die Luft oder das Gas in der Kammer bei einem bestimmten Druck (z.B. 0,01 bar) zu leuchten; diese Erscheinung tritt zum Beispiel beim Sputtern auf.

Dabei befinden sich freie Elektronen und Gas (meist Argon) in einem evakuierten Raum mit zwei Elektroden. Die leichten Elektronen werden von der positiven Elektrode (Kathode) angezogen und schlagen auf ihrem Weg Elektronen aus den Argonatomen heraus (Stoßionisation). Dieser Vorgang wiederholt sich ständig, so dass immer mehr freie Ladungsträger erzeugt werden.

Es kann jedoch auch sein, dass die Stoßenergie nicht ausreicht, um das Elektron vom Atom zu lösen, aber um es in eine andere, energiereichere Elektronenschale zu heben. Fällt das Elektron wieder in seine ursprüngliche Schale zurück, gibt das Elektron die zuvor zugeführte Energie in Form von Licht wieder ab.
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