Halbleitertechnologie von A bis Z

Negativlacke sind Lacke, bei denen belichtete Bereiche resistent gegen Entwicklerlösungen werden, es bleibt nach dem Entwickeln also das Negativ der Belichtungsmaske auf dem Wafer erhalten. Negativlacke finden Anwendung als Maskierschicht bspw. bei der Ionenimplantation.

Eigenschaften:
+ sehr empfindlich bei der Belichtung
+ gute Haftung
+ resistent gegen Ätzverfahren und Implantation
+ billiger als Positivlack
- geringe Auflösung
- Xylol-Entwickler (giftig)