Samsung Electronics baut eine spezialisierte Einheit auf, die Robotiklösungen für den Einsatz in den eigenen Halbleiterfabs entwickeln und einführen soll. Im Fokus steht zunächst die vorbeugende Wartung (Preventive Maintenance, PM1. particle monitorMess- oder Prüfgröße zur Überwachung von Fehlern und Prozessabweichungen in der Fertigung.2. preventive maintenance3. process module) von Fertigungsanlagen – ein Bereich, der traditionell stark von der Erfahrung und dem manuellen Eingriff von Anlagentechnikern abhängt. Ziel ist es, wiederkehrende Wartungsaufgaben wie Inspektionen, Reinigung oder den Austausch von Verschleißteilen zu automatisieren und damit Stillstandszeiten sowie menschliche Fehlerquellen zu reduzieren.
Automatisierung jenseits der klassischen Fertigungsschritte
Während Wafer-Handling und Transport in modernen Fabs längst durch automatisierte Materialflusssysteme (AMHSautomated material handling systemSystem oder Baugruppe für den automatisierten Transport beziehungsweise die Handhabung von Wafern und Materialien.) und Wafer-Roboter abgedeckt sind, blieb die Anlagenwartung selbst bislang ein Bereich mit hohem Personalaufwand. Samsungs neue Initiative zielt darauf ab, diese Lücke zu schließen, indem Roboter Routineaufgaben an komplexen Anlagen wie Ätzsystemen, Beschichtungsanlagen oder Ionenimplantern übernehmen. Damit reagiert der Konzern auch auf den wachsenden Fachkräftemangel in der Halbleiterindustrie sowie auf steigende Anforderungen an Verfügbarkeit und Ausbeute in immer komplexeren Fertigungslinien.
Die Entwicklung solcher fab-tauglicher Roboter stellt hohe Anforderungen an Präzision, Reinraumtauglichkeit und Sicherheit, da sie in unmittelbarer Nähe zu empfindlichen Prozessanlagen operieren müssen. Sollte sich der Ansatz bewähren, könnte er langfristig auf weitere Wartungs- und Inspektionsaufgaben ausgeweitet werden und Vorbild für andere Chiphersteller sein, die ebenfalls unter dem Kostendruck steigender Fab-Komplexität stehen.