Halbleitertechnologie von A bis Z

Alles über Halbleiter und die Waferfertigung

Chuck

Ein Chuck bezeichnet die Haltevorrichtung für die Wafer in einer Fertigungsanlage und ist meist ein runder Teller mit Vertiefungen um den Wafer vor Herunterfallen zu sichern.

Der Chuck kann zusätzlich Kanäle besitzen, durch die beim Prozess Wasser oder Stickstoff geleitet wird, um den Wafer zu kühlen. Beim Belacken oder anderen Aufschleuderprozessen ist der Chuck drehbar, um den Fotolack gleichmäßig auf dem Wafer zu verteilen.

Zur Sicherheit wird der Wafer auf dem Chuck mittels Vakuumansaugung festgehalten.