Dotierion
Dotierionen sind die Ionen eines Dotierstoffes. Sie werden aus dem elektrisch neutralen Dotierstoff durch Elektronenbeschuss erzeugt. Die dadurch entstandenen positiven Ionen können durch ein elektrisches Feld zu einem Ionenstrahl beschleunigt werden mit dem man dann zur Dotierung die Wafer beschießt (Ionenimplantation).