Halbleitertechnologie von A bis Z

Alles über Halbleiter und die Waferfertigung

Epitaxie

Epitaxie bedeutet die Abscheidung einer Schicht auf einer anderen, wobei die erzeugte Schicht die Kristallstruktur der Unterlage annimmt.

Ist die abgeschiedene Schicht aus dem gleichen Material wie die vorhandene Schicht, spricht man von Homoepitaxie, bei zwei unterschiedliche Materialien von Heteroepitaxie.

Bei der Homoepitaxie wird meist Silicium auf Silicium abgeschieden, bei der Heteroepitaxie meist Silicium auf einem Isolator wie Saphir.
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