Halbleitertechnologie von A bis Z

Alles über Halbleiter und die Waferfertigung

Feldoxid

Feldoxid (FOX) ist ein dickes Oxid (einige hundert Nanometer), das mittels feuchter Oxidation erzeugt wird.

Es findet meist Anwendung als seitliche Isolation zwischen leitenden bzw. aktiven Bereichen (Transistoren).
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