Halbleitertechnologie von A bis Z

Alles über Halbleiter und die Waferfertigung

Flat

Flats sind Abflachungen am Waferrand, um die Wafer in der Fertigung exakt ausrichten zu können. Flats werden gewöhnlich nur bei Wafern bis zu einer Größe von 150 mm Durchmesser (6 Zoll) verwendet.

Bei größeren Wafern gibt es nur noch eine kleine Einkerbung am Rand, Notch genannt. Dadurch verliert man auch deutlich weniger kostbare Waferfläche als bei Flats.
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