Halbleitertechnologie von A bis Z

Alles über Halbleiter und die Waferfertigung

Grauraum

Der Grauraum ist ein Teil des Reinraums.

Im Grauraum, also an den Maschinenrückseiten finden Wartungs- und Reinigungsarbeiten statt, weshalb hier weniger strenge Ansprüche an die Partikelfreiheit gestellt werden.
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