Halbleitertechnologie von A bis Z

Alles über Halbleiter und die Waferfertigung

Grauraum

Der Grauraum ist ein Teil des Reinraums.

Im Grauraum, also an den Maschinenrückseiten finden Wartungs- und Reinigungsarbeiten statt, weshalb hier weniger strenge Ansprüche an die Partikelfreiheit gestellt werden.