Halbleitertechnologie von A bis Z

Alles über Halbleiter und die Waferfertigung

Hilfsschicht

Unter einer Hilfsschicht versteht man eine auf den Wafer aufgetragene Schicht, die für einen bestimmten Prozessschritt benötigt wird, danach jedoch wieder entfernt werden muss, da sie die nachfolgenden Prozesse und das Funktionieren des fertigen Chips stört. Hilfsschichten sind z.B. Lackschichten bei der Belichtung, Nitridschichten bei der lokalen Oxidation (LOCOS) und Oxidschichten bei der Dotierung.