Hochstromimplanter
Der Hochstromimplanter ist eine Variante des Ionenimplanters. Dabei sind mehrere Waferscheiben auf einem Drehteller angeordnet, der neben seiner Rotation auch noch senkrecht zur Drehachse auf und ab bewegt wird. So werden die Scheiben durch den stationären Ionenstrahl bewegt. Dieser hat typischerweise einen Durchmesser von einigen cm und einen Strahlstrom von etwa 10 mA.