Halbleitertechnologie von A bis Z

Alles über Halbleiter und die Waferfertigung

Horde

Horde oder Carrier heißt das aus Kunststoff oder Quarzglas bestehende offene Transportbehältnis für die Wafer in der Fab.

Mit diesem werden die Wafer im Reinraum sowohl von einer Maschine zur nächsten gebracht als auch in die einzelnen Maschinen eingefahren. Deshalb müssen die Horden genau festgelegte, zu den Maschinen passende Abmessungen und Eigenschaften besitzen.
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