Hydrophobie
Dabei handelt es sich um die charakteristische Eigenschaft eines Stoffes, sich äußerst schlecht mit Wasser und anderen hydrophilen Stoffen mischen zu lassen. Hydrophobe Stoffe untereinander lassen sich jedoch hervorragend vermischen bzw. aufeinander auftragen. Ein Beispiel für hydrophobe Flüssigkeiten sind Öle und Benzine. Sie lassen sich mit Wasser nicht oder nur schwerlich mischen. Ein anderes Beispiel für einen hydrophoben Stoff ist Photolack. Er haftet nicht auf der hydrophilen Waferoberfläche aus Siliciumnitrid oder Siliciumoxid. Durch Haftvermittler lassen sich jedoch hydrophile Oberflächen in hydrophobe Oberflächen umwandeln.