Halbleitertechnologie von A bis Z

Alles über Halbleiter und die Waferfertigung

Ionenspektrum

Unter dem Ionenspektrum versteht man bei der Ionenimplantation die ganze Bandbreite der in der Plasmaquelle erzeugten Ionen. Leitet man z.B. BF3 in die Ionenquelle ein, so entstehen nicht ausschließlich die zur Implantation benötigten B+-Ionen sondern daneben auch noch BF+-, BF2+-,und B2+-Ionen. Zusätzlich entstehen z.B. noch N+- und N2+-Ionen aus dem Restgas.
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