Halbleitertechnologie von A bis Z

Alles über Halbleiter und die Waferfertigung

Ionenstrahl

Unter einem Ionenstrahl versteht man einen gebündelten Strahl beschleunigter Ionen.

Um einen solchen zu erzeugen benötigt man eine Ionenquelle (z.B. ein Plasma) und eine Extraktionsspannung, die die Ionen aus der Quelle heraussaugt. Diese wird an einer Elektrode, die mit einer Blende versehen ist (der sog. Extraktionselektrode) angelegt. Der Raum, durch den ein Ionenstrahl geschossen werden soll muss evakuiert sein, da sonst der Ionenstrahl bei Stößen mit Gasmolekülen aufgestreut und abgebremst würde.