Halbleitertechnologie von A bis Z

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Isotop

Die Atome eines chemischen Elements können sich in der Anzahl ihrer Neutronen unterscheiden. Man nennt sie dann Isotope des Elements. So sind z.B. 235Uran und 238Uran Isotope des Urans. Bei der Anzahl der Protonen hingegen ist dies nicht möglich, da die Zahl der Protonen die Ordnungszahl und damit das Element festlegt. Alle Isotope eines Elements haben dieselben chemischen Eigenschaften. Sie unterscheiden sich nur in ihrer Häufigkeit.

Bei der Ionenimplantation werden die unterschiedlich schweren Isotope im Massenseparator getrennt.