Mittelstromimplanter
Der Nieder- oder Mittelstromimplanter ist eine Variante des Ionenimplanters. Dabei wird der Ionenstrahl durch elektrische Felder in x- und y-Richtung abgelenkt, so dass er mehrmals die gesamte Waferoberfläche überstreicht. Der Ionenstrahl hat dabei typischerweise einen Durchmesser von 1 mm und einen Strahlstrom von etwa 1 mA. Die Waferscheibe bleibt bei diesem Verfahren ruhend.