Multizonen-Annealer
Der Multizonen-Annealer ist eine neuere Variante des Anneal-Ofens. Er ist in mehrere Zonen unterteilt, deren Temperaturen separat gesteuert werden können. Dies geschieht durch unabhängig steuerbare Lampen oder Lampenringe. Mit diesem Verfahren ist es möglich, den Wafer sowohl gleichmäßig zu erhitzen, als auch die Temperaturunterschiede auf dem Wafer unter 3 °C zu halten.