Halbleitertechnologie von A bis Z

Alles über Halbleiter und die Waferfertigung

Notch

Ein Notch ist eine kleine Einkerbung am Waferrand, um die Scheibe in der Fertigung exakt ausrichten zu können. Im Gegensatz zum Flat wird hier der Wafer nicht seitlich abgeflacht, was wesentlich mehr Fläche als die Einkerbung beansprucht; es geht somit weniger kostbarer Platz zur Herstellung der Chips verloren.

Notchs werden i.d.R. ab einer Scheibengröße von 150 mm Durchmesser eingesetzt.