Halbleitertechnologie von A bis Z

Alles über Halbleiter und die Waferfertigung

Oxid

Unter einem Oxid versteht man generell die chemische Verbindung eines Elements mit Sauerstoff (Oxidation).

Für die Halbleiterfertigung ist vor allem Siliciumdioxid, SiO2, interessant. In diesem Zusammenhang ist oft nur von Oxid oder Siliciumoxid die Rede.

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