Halbleitertechnologie von A bis Z

Alles über Halbleiter und die Waferfertigung

Partikel

Unter Partikeln versteht man grundsätzlich gesehen kleine Teilchen. In der Physik meint man damit in der Regel einzelne Elementarteilchen (z.B. Elektronen) oder auch ganze Atome. In der Halbleiterherstellung spricht man im Zusammenhang mit dem Reinraum und der Kontaminierung der Wafer von Partikeln. Man meint dann damit alle für die Schaltung schädlichen kleinen Teilchen, wie etwa kleine Staubteilchen, Hautschuppen, Photolacksplitter oder auch Fremdatome (z.B. Schwermetalle).