Halbleitertechnologie von A bis Z

Alles über Halbleiter und die Waferfertigung

Phosphor

Phosphor ist neben Bor eines der wichtigsten Dotierelemente in der Halbleiterfertigung.

Das fünfwertige Element (5 Valenzelektronen) kann in einen Siliciumkristall eingebaut werden. Dabei können nur vier der fünf Valenzelektronen eine Atombindung mit je einem Außelektron eines Siliciumatoms eingehen.

Phosphordotierung

Das fünfte Elektron ist nicht gebunden und steht als freier Ladungsträger zur Verfügung.

Da die Leitfähigkeit auf negativen Elektronen beruht nennt man diesen Halbleiter n-Leiter oder n-dotiert.