Halbleitertechnologie von A bis Z

Alles über Halbleiter und die Waferfertigung

Positivlack

Positivlacke sind Lacke, bei denen belichtete Bereiche in Entwicklerlösungen gelöst werden können, es bleibt nach dem Entwickeln also das Positiv der Belichtungsmaske auf dem Wafer erhalten. Positivlacke finden meist Anwendung bei der Strukturierung der Schichten auf dem Wafer.

Eigenschaften:

  • sehr gute Auflösung
  • stabil in der Entwicklerlösung
  • in Laugenlösungen entwickelbar
  • nur bedingt resistent gegen Ätzung und Implantationsprozesse
  • schlechte Haftung auf dem Wafer