Halbleitertechnologie von A bis Z

Alles über Halbleiter und die Waferfertigung

Prozessparameter

Unter einem Prozessparameter versteht man eine zu einem bestimmten Prozess gehörende und diesen beeinflussende Rahmenbedingung. Es ist enorm wichtig grundsätzlich alle Prozessparameter genau zu dokumentieren, um den Prozess reproduzierbar zu machen, bzw. falls diese vorgegeben sind, sie exakt einzuhalten, um die gewünschten Ergebnisse zu erzielen.

Als Beispiel seien hier einige der Prozessparameter der thermischen Oxidation genannt: Temperatur, Oxidationsdauer, Druck und Konzentrationsverhältnis der verwendeten Reaktionsgase, die chemische Zusammensetzung der Reaktionsgase und deren Reinheit, Beschaffenheit des zu oxidierenden Stoffs, verwendeter Oxidationsofentyp, usw.
Please enable / Bitte aktiviere JavaScript!