Reinraum
Alle Halbleiterprozesse finden im Reinraum statt, um schädliche Kontaminierungen der Bauteile durch Staubpartikel zu verhindern.
Es werden folgende Ansprüche an den Reinraum gestellt: Temperatur und Luftfeuchtigkeit müssen stabil und die Luft muss extrem partikelarm sein. Um die Partikelfreiheit zu gewährleisten, wird die Luft im Reinraum ständig in einem Kreislauf gefiltert und die dort arbeitenden Personen müssen spezielle Reinraumanzüge tragen.
Den Reinraum unterteilt man in Weissraum und Grauraum.