Halbleitertechnologie von A bis Z

Alles über Halbleiter und die Waferfertigung

Reticle

Ein Reticle ist eine Maske, die zur Belichtung der Wafer dient. Dabei bezeichnet ein Reticle meist eine Maske mit vergrößerten Strukturen, die dann via Projektionsbelichtung auf den Wafer verkleinert werden.

Der Vorteil durch die vergrößerten Strukturen ist, dass auch fehlerhafte Stellen (z.B. Verschmutzung, "ausgefranste" Strukturen usw.) verkleinert auf dem Wafer erzeugt werden, und die Strukturierung so eine bessere Qualität erreicht.

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