UV-Licht
UV-Licht - besser Ultraviolettstrahlung - sind elektromagnetische Wellen mit einer Wellenlänge von 5–370 nm.
UV-Licht kommt in der Halbleiterindustrie bei der Belichtung von Wafern zum Einsatz um Schichten zu strukturieren. Auf Grund der hohen Energie der UV-Strahlung können Moleküle im Fotolack verändert werden, so dass Positivlacke (Negativlacke) an den belichteten Stellen löslich (unlöslich) werden.
In den Fertigungen wird heutzutage Deep UV (DUV) mit einer Wellenlänge von 193 nm eingesetzt. In der Entwicklung sind bereits EUV-Belichtungen (extremes UV) mit Wellenlängen von 13,5 nm.