Halbleitertechnologie von A bis Z

Alles über Halbleiter und die Waferfertigung

Weißraum

Der Weißraum ist ein Teil des Reinraums. Hier findet das Beladen der Maschinen und die Verarbeitung der Wafer statt. Deshalb werden hier besonders strenge Ansprüche an die Reinheit gestellt.
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